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擴散爐爐膛

 一、爐體材料:


   爐絲:Φ6Φ10mm康泰爾/吉泰安高溫電熱合金絲。

   絕緣子:采用99瓷制作,碳化硅管用高腳,石英管用矮腳。

   保溫棉采用英國摩根公司生產的高溫保溫材料。

    外殼: 304不銹鋼板卷制而成,連接處采用不銹鋼拉鉚釘連接。

    熱偶座:進口彈簧卡狀固定座。

    把口環:陶瓷纖維把口環,既保溫,又有一定機械強度。 

二、爐體參數:

     工作溫度:   ≤1300℃

      恒溫區長度: 500mm-1000mm

    爐體內徑:   Φ90Φ360 mm3~12英寸)

★   規范使用:   壽命可達20個月以上(1200℃

★   替代進口:   全方位配套

三、應用:

       青島晨立電子有限公司生產的擴散爐體主要用做半導體、功率器件、集成電路等行業中管式熱壁系統的加熱裝置??膳c美國TEMPRESS、THERMCO,荷蘭ASM,英國BTU等國外多種型號擴散爐配套(替代進口),采用國外先進的加工工藝,選用進口材料,可應用于處理312英寸硅片的擴散爐/太陽能電池片擴散爐。


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